Overview

Nasschemie:
RCA-Digestorium
TMAH, PNA, ... Digestorium
HF Digestorium

Photolithographie:
Entwicklungs-Digestorium
Belackungs-Digestorium
Belichter MA6

Alu-Aufdampfanlage
RIE-Ätzer (Oxford Instruments)
RTP-System (ATV)
Profilometer
Kamera / Mikroskop
4-Spitzen-Messplatz
Elektrische Charakterisierung
Oxidations- und Temperofen (Inotherm)
RTP-Anlage (Koyo)
Oxidations-Ofen + LPCVD System (ATV)
LPCVD-Nitridation
Centura-Cluster (Applied Materials)