Simulation der Strömungsverhältnisse in EUV-Optiken

Zur Untersuchung der Partikelkontamination in einer Optik sollen Strömungen in verdünnten Gasen modelliert werden. In einem ersten Arbeitspaket wurden Simulationen durchgeführt und mit Messungen eines skalierten Modells verglichen. Dabei hat sich eine sehr gute Übereinstimmung ergeben. Ein Vergleich mit Simulationsergebnissen an der Original-Optik zeigt allerdings einen mehr oder weniger gleichförmigen Offset in der Druckverteilung. Ziel eines weiteren Arbeitspaketes ist eine geeignete Anpassung der Geometrie um ein realistischeres Druckniveau zu erzielen.