Labor für Mikro- und Leistungselektronik

In den Laboren des Institutes gibt es umfangreiche Möglichkeiten zur Charakterisierung und Simulation von mikro- und leistungselektronischen Systemen. Alle messtechnischen Verfahren können auf einem Waferprober Summit 12000 mit 8"-Chuck auch On-Wafer durchgeführt werden.

Zur Charakterisierung sind folgende Messgeräte vorhanden:

DC: Agilent 4142 Analyzer

C(U): Agilent 4284 Messbrücke

S-Parameter: Agilent E8358A Network Analyzer (350MHz-9 GHz)

Rauschmessungen: Agilent DSA 35670A + Rauscharme Verstärker Stanford Research SR570 und Sr571 

Für Charakterisierungen von Systemen mit schnellen Pulsen bei Strömen bis 30 A und Spannungen bis 1500 V steht ein TLP (Transmission Line Pulse)-Messplatz der Firma HPPI zur Verfügung. Auch diese Messungen können On-Wafer durchgeführt werden.